投影光刻機(jī)氣動隔振系統(tǒng)有哪些方式

1、設(shè)計(jì)方案絕對高度更低：與傳統(tǒng)氣缸對比，增壓器的投影光刻機(jī)氣動隔振系統(tǒng)并沒有液壓油缸。設(shè)計(jì)方案含有什么方法可以大幅度降低彈簧的絕對高度？使結(jié)構(gòu)更緊密。

2、無電源適配器的好姿態(tài)：工業(yè)設(shè)備氣襄扭力彈簧的偏斜角度做到30°，便捷設(shè)計(jì)師設(shè)計(jì)方案連接組織計(jì)劃方案。（注：假如設(shè)施的規(guī)格型號和規(guī)格不一樣，允許的俯仰角也不一樣。）

3、型號挑選低成本：與傳統(tǒng)氣缸對比彈簧，氣體增壓器彈簧不僅低成本，而且使用年限長，免維護(hù)保養(yǎng)空氣彈簧減震器哪里好，成本費(fèi)可控性。

4、無摩擦免維修保養(yǎng)：即便在嚴(yán)酷的應(yīng)用情況下彈簧，彈簧也可以正常的工作中。由于打氣筒內(nèi)并沒有互相摩擦的構(gòu)件（液壓密封件），因此即便在有許多灰塵、微小顆粒物或沉淀的條件下都不容易損壞。

5、聯(lián)系實(shí)際出色的疲倦緩解：氣囊彈簧在動態(tài)性情況下也十分耐疲倦，由于這類氣囊用以各式各樣化工品的生產(chǎn)制造普遍的運(yùn)用和檢測，即使他們是不容易受天氣和外部環(huán)境的危害。即便承載力大，工業(yè)設(shè)備仍能維持較長的使用年限。

6、氣體增壓器投影光刻機(jī)氣動隔振系統(tǒng)的氣軸抗壓強(qiáng)度可達(dá)30mm，在該地區(qū)工作時可始終保持。與氣缸或液壓油缸不一樣，氣缸不容易紙卡或損壞液壓密封件，都不應(yīng)用易受灰塵與別的碎渣損害的滾桶。

7、便于組裝：當(dāng)不除灰時，氣囊投影光刻機(jī)氣動隔振系統(tǒng)組裝快速輕輕松松，省時省力、時間精力和成本費(fèi)。除此之外，該元器件具有較好的延展性，能夠賠付細(xì)微的偏差。